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【简答题】

简述部分离子注入工艺的作用。

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第7题

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第8题

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A、扩散 B、化学机械抛光 C、刻蚀 D、离子注入

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第9题

[单选题] 在较先进的集成电路制造工艺中，通常采（）来实现掺杂。

A、刻蚀 B、离子注入 C、光刻 D、金属化

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