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【简答题】
简述湿法刻蚀。
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第1题
[简答题]
简述
什么是干法
刻蚀
与
湿法
刻蚀
。
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第2题
[简答题]
简述
法
刻蚀
的优缺点(与
湿法
刻蚀
比)。
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第3题
[简答题] 列举干法
刻蚀
同
湿法
刻蚀
相比具有的优点,干法
刻蚀
的不足之处是什么?
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第4题
[判断题] 通常
湿法
刻蚀
的
刻蚀
轮廓比干法
刻蚀
好。
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第5题
[简答题]
简述
刻蚀
的概念、工艺目的、分类、应用。
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第6题
[简答题]
简述
ULSI对
刻蚀
的要求。
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第7题
[简答题]
简述
反应离子
刻蚀
。
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第8题
[简答题] 列出在干法
刻蚀
中发生
刻蚀
反应的六种方法?
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第9题
[简答题] 二氧化硅,铝,硅和光刻胶
刻蚀
分别使用什么化学气体来实现干法
刻蚀
?
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