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【简答题】

简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。

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第1题

[简答题] 刻蚀工艺的目的是什么，这个区中最常用的设备是什么？

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第2题

[简答题] 简述法刻蚀的优缺点（与湿法刻蚀比）。

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第3题

[简答题] 简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。

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第4题

[填空题] 集成电路制造工艺技术主要包括：热工艺、（）、光刻、清洗与刻蚀、金属化、表面平坦化。

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第5题

[单选题] 根据数据对象和应用目的对数据模型进行分类，不正确的是（）

A、E-R数据模型 B、逻辑数据模型 C、物理数据模型 D、概念数据模型

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第6题

[多选题] 根据数据对象和应用目的对数据模型进行分类，下列选项中正确的是（）

A、概念数据模型 B、E-R数据模型 C、物理数据模型 D、逻辑数据模型

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第7题

[] 分类检索语言以（）来表达复杂概念

A、A.类目的等级关系 B、B.概念间的逻辑关系 C、C.复杂的分类号 D、D.概念的主题词

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第8题

[单选题] 根据数据对象和应用目的对数据模型进行分类，下列选项中不正确的是（）

A、概念数据模型 B、E-R数据模型 C、物理数据模型 D、逻辑数据模型

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第9题

[简答题] 分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程？

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