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【简答题】

简述溅射与离子束铣蚀。

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第1题

[] 离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。

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第2题

[判断题] 离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。

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第3题

[] 离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

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第4题

[] 下列不属于离子束加工技术的是（）。

A、A.离子束刻蚀 B、B.离子束焊接 C、C.离子注入技术 D、D.离子束镀膜技术

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第5题

[简答题] 简述电子束、离子束、激光束加工技术的工作原理和适用的加工范围？各具有哪些特点？

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第6题

[判断题] 离子束加工时在真空条件下，将氩、氪、氙灯惰性气体通过离子源产生离子束，经加速、集束、聚焦后，射到被加工表面上以实现各种加工的方法。

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第7题

[判断题] 离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。

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第8题

[判断题] 离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。

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第9题

[判断题] 离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

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