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【简答题】

哪种化学气体通常用来刻蚀多晶硅,为什么这种化学气体替代了氟基化学气体?

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第5题

A、第一层晶硅的面积  B、第二层晶硅的面积  C、二层晶硅重叠后的面积  

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第7题

A、单晶硅  B、晶硅  C、非晶硅  D、硅蓝宝石  

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