A、光学轨道
B、光学显微镜装置
C、图形扫描装置
D、测量反馈装置
A、磁栅 B、旋转变压器 C、光栅尺
A、光栅尺 B、圆光栅 C、旋转变压器 D、圆感应同步器
A、极为准确的直接测量位移的工具 B、数控系统的功能模块 C、能够间接检测直线位移或角位移的伺服系统反馈元件 D、能够间接检测直线位移的伺服系统反馈元件
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