【填空题】
A、主要厂房、辅助厂房、动力厂房、运输厂房、储存厂房、其它厂房 B、单层厂房、多层厂房、混合层次厂房 C、冷加工厂房、热加工厂房、恒温恒湿厂房、洁净厂房 D、轻工业厂房、重工业厂房
A、集成电路是上世纪50年代出现的 B、集成电路的许多制造工序必须在恒温、恒湿、超洁净的无尘厂房内完成 C、集成电路使用的都是半导体硅(Si)材料 D、集成电路的工作速度与组成逻辑门电路的晶体管尺寸有密切关系