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【名词解释】

化学机械平坦化(CMP)

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第5题

A、腐蚀法  B、电解抛光法  C、离子轰击法  D、机械研磨法  

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第6题

A、授权  B、集权  C、临时  D、机械  

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第7题

A、下面哪些指令是非法的?(假设OPl,OP2是已经用DB定义的变量)  B、(1)CMP l5,BX  C、(2)CMP OPl,25  D、(3)CMP OPl,OP2  E、(4)CMP AX,OPl  

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第8题

A、Ar回蚀法  B、PSG或BPSG的热回流  C、SOG回蚀法  D、机械抛光  

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第9题

A、喷砂  B、机械方法(打磨和刷除)  C、酸洗  D、使用清洁剂、无卤、易挥发的溶液,如乙醇、丙酮、等  

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