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【填空题】

电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束(),因而可获得更加精细的图样。

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第5题

A、颜色  B、亮度  C、灰度  D、比度  

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第6题

A、较高能量子束,照射野百分深度剂量无影响  B、较低能量子束,照射野百分深度剂量无影响  C、较低能量子束,较大照射野百分深度剂量影响较大  D、较高能量子束,较大照射野百分深度剂量影响较大  E、较高能量子束,较小照射野百分深度剂量影响较大  

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第7题

A、电子线阵探头比机械探头噪声小  B、电子线阵探头比机械探头振子数多  C、电子线阵探头比机械探头寿命长  D、电子线阵探头比机械探头敏度明显增高  E、电子线阵探头比机械探头更适用于腹部  

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