A、环境温度 B、热靶温度 C、器件温度 D、盘温和板温
A、环境温度 B、盘温 C、器件温度 D、板温
A、板温 B、制冷 C、校零+ D、器件温度 E、同步信号
A、轴温电压 B、盘温 C、器件温度 D、调制信号 E、同步信号
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