首页
>
电子与通信技术模拟试题
>
微电子学模拟试题
>
VD过程中采用等离子体的优点有哪些？...
搜题
搜题
用户
您好， 请在
下方输入框内
搜索其它题目：
搜题
题目内容
（请给出正确答案）
提问人：网友
发布时间：
【问答题】
CVD过程中采用等离子体的优点有哪些？
查看正确答案
更多“CVD过程中采用等离子体的优点有哪些？”相关的问题
第1题
[简答题]
等
离子
体
烧结
的
优点
有
哪些
？
点击查看答案
第2题
[] 无磁场
的
等
离子
体
中
所传播
的
波频率必须高于
等
离子
体
频率，但在
有
磁场
的
情况下，出现了一些低于
等
离子
体
频率
的
传播模式，请分析其
中
的
奥秘。
点击查看答案
第3题
[简答题] 在
等
离子
体
中
通上电流，可以通过欧姆加热效应使
等
离子
体
温度升高。但欧姆加热手段对高温
等
离子
体
不再适用，请考虑其原因及相关
的
过程
。
点击查看答案
第4题
[简答题] 考虑一个逐渐变细
的
磁通管（由磁力线构成），若在较粗
的
一端（弱场区）产生
等
离子
体
，此
等
离子
体
在磁场方向上可以达到力
的
平衡吗？若在较细
的
一端（强场区）产生
等
离子
体
，可以达到平衡吗？若要利用磁场形成所谓
的
“磁喷嘴”，产生高速
的
等
离子
体
射流，应该
采用
哪一种方法？
点击查看答案
第5题
[简答题] 若在真空
中
放置两个电极，其
中
阴极可发射电子，则电极间通过
的
电流受到限制
的
因素
有
哪些
？大电流开关多
采用
等
离子
体
开关，为什么？
点击查看答案
第6题
[单选题] ICP—AFS是指ICP光谱分析仪器
中
的
哪种类型（）
A、
等
离子
体
原子发射光谱 B、
等
离子
体
原子吸收光谱 C、
等
离子
体
原子荧光光谱 D、
等
离子
体
质谱
点击查看答案
第7题
[简答题] 什么是
等
离子
体
，为什么要在
等
离子
体
中
使用RF能量？
点击查看答案
第8题
[填空题]
等
离子
增强反应沉积
中
，由于
等
离子
体
中
（）、（）和（）相互碰撞，可以大大降低沉积温度，例如硅烷和氨气
的
反应在通常条件下，约在850℃左右反应并沉积氮化硅，但在
等
离子
体
增强反应
的
条件下，只需在350℃左右就可以生成氮化硅。
点击查看答案
第9题
[简答题] 氩
等
离子
体
密度， 电子温度，
离子
温度， 存在恒定均匀磁场B=800 Gauss，求 （1）德拜半径； （2）电子
等
离子
体
频率和
离子
等
离子
体
频率； （3）电子回旋频率和
离子
回旋频率； （4）电子回旋半径和
离子
回旋半径。
点击查看答案
账号：
登录
答题记录
我的收藏
我的题库
客服
TOP
请使用微信扫码支付
订单号：
遇到问题请联系
在线客服
查看正确答案
客服
TOP
